鑠思百檢測(cè)可以測(cè)試3D輪廓儀

儀器名稱：
3d輪廓儀
儀器型號(hào)：
美國(guó)kla-tencor d-120
檢測(cè)項(xiàng)目：
1、薄膜、涂層厚度測(cè)量；
2、臺(tái)階高度測(cè)量；
3、表面粗糙度測(cè)量；
4、2維薄膜應(yīng)力測(cè)量；
5、平坦度、波紋度、曲率測(cè)量；
6、表面輪廓（缺陷、形貌等）測(cè)量。
應(yīng)用范圍：
可用于微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、薄膜、材料等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別表面二維形貌測(cè)量。垂直分辨率蕞大1a；垂直范圍0-1mm；單次掃描長(zhǎng)度范圍小于55mm。
制樣要求：
長(zhǎng)寬小于30mm，厚度小于20mm，
3d輪廓儀一款測(cè)量工具，該工具可以通過(guò)電腦軟件對(duì)一件物體進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)，那三維光學(xué)輪廓儀具有哪些原理呢，下面就讓我們來(lái)了解一下吧。
3d輪廓儀
一、原理：
3d輪廓儀基于白光干涉掃描技術(shù)，用于樣品表面顯微鏡檢查。精密儀器測(cè)量的顯著特點(diǎn)是它可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并能快速獲取待測(cè)工件表面的三維形狀和數(shù)據(jù)。其主要目的是用于成品的質(zhì)量管理，以確保良好的產(chǎn)量?？蓮V泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求如：半導(dǎo)體，微機(jī)電，納米材料，生物醫(yī)學(xué)，精密涂料，科研院所，航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f(shuō)，只要測(cè)量微小范圍內(nèi)關(guān)鍵部件的納米粗糙度，輪廓等參數(shù)，除了3d輪廓儀外，沒(méi)有其他儀器和設(shè)備可以滿足精度要求。
二、3d輪廓儀的特點(diǎn)是：
1、業(yè)界蕞高的垂直分辨率，最強(qiáng)大的測(cè)量性能；
2、放大0.5至200倍；
3、在任何放大倍數(shù)下的子級(jí)到毫米垂直測(cè)量范圍；
4、3d輪廓儀測(cè)量硬件的獨(dú)特設(shè)計(jì)，以提高生產(chǎn)環(huán)境的可靠性和可重復(fù)性；更高的振動(dòng)獲得專利的自動(dòng)校準(zhǔn)公差和gr測(cè)量功能；
5、 vision64軟件在多核處理器下運(yùn)行，大大提高了三維表面測(cè)量和分析速度，加快了數(shù)據(jù)處理速度增加了幾倍;將分析速度提高十倍；
6、無(wú)與倫比的無(wú)縫數(shù)據(jù)拼接功能；
7、3d光學(xué)分析儀具有高度直觀的用戶界面，業(yè)界最強(qiáng)的實(shí)用性，易操作性和強(qiáng)大的分析能力極大優(yōu)化的用戶界面大大簡(jiǎn)化了測(cè)量和數(shù)據(jù)分析過(guò)程;獨(dú)特的視覺(jué)操作工具，一個(gè)可以自己設(shè)置數(shù)據(jù)輸出的接口。
以上是關(guān)于3d輪廓儀的相關(guān)介紹，更多測(cè)試需求請(qǐng)聯(lián)系鑠思百檢測(cè)工程師。