供應邦得凌陶瓷材料白色光阻劑

本品在玻璃基材與陶瓷基材上分別制作的陶瓷粉光阻材料，使用黃光制程制做的圖型。支持微細電子元器件的制造。
應用用途
用于pet，玻璃，硅基傳感器，片式電感器上的白色負型光阻劑，主要支持黃光制程工藝制造。
1、性能與特點
外觀：白色不透明液體
粘度：依用戶用途可調(diào)
膠膜特性：成膜固化之后結構致密，與玻璃/金屬/pet/陶瓷等基板結合緊密
顯影干凈：無殘留，支持5um制程
用于各類器件的白色光阻涂層。
我們通過先進的材料技術將粒子尺寸微細化到200nm
本品在玻璃基材與陶瓷基材上分別制作的陶瓷粉光阻材料，使用黃光制程制做的圖型。支持微細電子元器件的制造
2、指標參數(shù)
序號
項目名稱
指標
參考標準
1
od值（1um）
2.3-3.0
分光光度計
2
方阻抗值
1.3*1014-16 ω/cm2
四探針儀
3
粘度值
5~100cp
粘度儀
4
成膜均勻性
4h
三菱鉛筆/750g硬度計
10
耐化學
浸泡1hr膜完好
ipa、nmp、gbl、tmah
3、工藝參數(shù)
1. 涂膠：旋涂，刮涂，印刷
2. 前烘溫度：90~110℃
3. 曝光：150-300mj/cm^2
4. 顯影時間： 50-70秒/ckb-amphbal2001,25-30℃
5. 后烘溫度：120~200℃， 30~60min
4、包裝及存儲
包裝： 1kg潔凈hdpe桶，加不透光包裝袋
貯存： 0~5℃避光保存；緊蓋封口，于通風、陰涼處儲存；貯運中避免日曬、雨淋、泄露；剩余產(chǎn)品密封存放
保質(zhì)期：3個月