TESCAN 聚焦離子束掃描電鏡
tescan聚焦離子束掃描電鏡聚焦離子束掃描電子顯微鏡
雙束聚焦掃描電鏡fib-sem
fib-sem
雙束電鏡(fib-sem)是一款集成了電子束和離子束的電子顯微鏡系統(tǒng)。sem鏡筒提供高分辨成像能力,fib鏡筒能在成像的同時(shí)對樣品進(jìn)行加工處理。雙束電鏡系統(tǒng)開創(chuàng)了一種全新的應(yīng)用方式。
雙束電鏡系統(tǒng)的配置使得電子束和離子束的聚焦點(diǎn)重合,這在很多應(yīng)用中可以獲得最優(yōu)化的結(jié)果。這一特點(diǎn)也使得儀器在完成fib銑削任務(wù)的同時(shí),可以進(jìn)行sem實(shí)時(shí)成像----這對于精度要求極高的fib操作有很大幫助,使得操作性能和工作效率實(shí)現(xiàn)重大飛躍。
主要型號:
tescanamber
tescansolaris
tescanamberx
tescansolarisx
我們提供多種配置的fib-sem系統(tǒng),能夠滿足從常規(guī)工業(yè)應(yīng)用到**和具有挑戰(zhàn)性的工藝應(yīng)用,這些應(yīng)用要求在成像和微/納米機(jī)械的復(fù)雜工作流程方面達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)。