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鈀靶材廠家?guī)懔私獍胁?br>什么是靶材?
靶材是制備薄膜的主要材料之一,比如鍍膜靶材,通過磁控濺射,在適當(dāng)?shù)墓に嚄l件下,濺射在基體上形成各種所需功能薄膜的濺射源。當(dāng)然還有其它鍍膜工藝,比如真空離子鍍膜、蒸發(fā)鍍膜等等電鍍工藝。根據(jù)所需求工藝應(yīng)用的不同,對靶材的種類選擇也不同。所以說得簡單一點(diǎn),靶材就是真空電鍍材料爐里的靶,你也可以簡單理解為電鍍材料的一種。
靶材就材質(zhì)分類而言分為三大類:
1. 金屬靶材 2.陶瓷靶材 3.合金靶材
在這里我們就不一一例舉出這幾種靶材材料的具體分類 品種,我們主要講下主要含有貴金屬的幾種靶材,比如銀靶au、鈀靶pd、鉑靶pt、金靶等各種含有貴金屬的靶材。
什么是貴金屬靶材
貴金屬靶材就是采用精煉、粉末冶金、壓延加工或熔化鍛造制造而成的貴金屬靶材材料。是主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、存儲用的硬盤、平面顯示器等的布線和制備薄膜用的貴金屬濺射靶材材料。廣泛應(yīng)用于集成電路和大規(guī)模集成電路。還有一些合金靶材用于磁記錄,比如copd、copt等。
半導(dǎo)體器件
在貴金屬靶材中其貴金屬的純度都在**以上主要應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)與大規(guī)模的集成電路中,是電子信息產(chǎn)業(yè)中不可或缺的重要材料之一。比如金靶材應(yīng)用于磁控濺射鍍膜,sem金靶材用于掃描電鏡sem設(shè)備。貴金屬靶材就形態(tài)品種而言根據(jù)行業(yè)應(yīng)用的不同有顆粒狀、絲狀、塊狀、片狀等形狀尺寸大小不一,根據(jù)行業(yè)需求都是可以定做的。
為什么貴金屬靶材對純度要求這么高呢?主要是因?yàn)樵诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,小小的芯片要處理的東西越來越多了,隨著工藝的發(fā)展對其純度要求也越來越高了。因?yàn)榘胁牡慕Y(jié)晶粒子直徑和均勻性被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。
金靶材
貴金屬靶材可以回收再利用嗎?
貴金屬靶材是可以回收再利用的,在加程中打穿的靶材或殘料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、銀靶材、鈀靶材等都可以回收再利用。以ito銀靶材為例,生產(chǎn)加工時(shí)銀靶材會被打穿,產(chǎn)生的絲狀殘料這些都是可以回收再利用的,廢料上會沾染少量的銦,說是氧化用的,這種銦元素處理一下就可以了。所以含金、銀、鈀、鉑、銠這些貴金屬的靶材都可以回收再利用的,還有合金靶材之類的。
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