飛秒激光微納加工系統(tǒng),WOP飛秒激光微加工系統(tǒng)FemtoFab適合飛秒激光蝕刻
這套工業(yè)級飛秒激光微納加工系統(tǒng)femtofab立陶宛wop為工業(yè)激光微加工研究和生產(chǎn)而研發(fā)的成熟的飛秒激光微加工系統(tǒng),可用于飛秒激光打孔,飛秒激光蝕刻,飛秒激光多光子聚合等微納加工應用,具有非常的可靠性和超高的加工速度。
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這套飛秒激光微納加工系統(tǒng)采用了先進而成熟的飛秒激光器和飛秒激光放大器。飛秒激光器由于激光脈沖超短,提供了常見激光無以倫比的激光功率密度,其加工效果遠遠超過納秒和皮秒激光。光束所到之處能夠瞬間將材料汽化,由于激光脈沖超短,激光能量無法在如此短的時間內(nèi)擴散到周圍材料中,所以對加工區(qū)域周圍影響微乎其微,是一種冷加工技術,加工效果堪稱一流。
這套飛秒激光微納加工系統(tǒng)采用高達10w的yb:kgw(1030nm)飛秒激光器作為激光光源,重復頻率在1--1000khz范圍內(nèi)可調(diào),結合一流的精密掃描振鏡,提供超高的微加工速度。系統(tǒng)配備arotech公司高分辨率的定位平臺,并同步激光光束掃描振鏡和脈沖選擇器,在空間,時間和能量上提供全方位高精度控制。從而提供超高難度的加工能力,并達到亞微米精度的分辨率和重復性。配備機械視圖系統(tǒng),使用高分辨率的相機監(jiān)控加工過程。
飛秒激光器激光光源
這套飛秒激光微納加工系統(tǒng)使用了貼別為微加工而設計的飛秒激光器,它比市場上出售的商業(yè)飛秒激光器具有更多優(yōu)勢。該飛秒激光放大器具有更高的穩(wěn)定性和可靠性,達到工業(yè)使用的標準,飛秒激光放大器具有更短的脈沖(振動器<80fs, 放大器<280fs),飛秒激光器具有更高的平均功率(振蕩器高達2w, 放大器為6w),而且激光重復頻率可調(diào),計算機監(jiān)控并控制激光。
更多飛秒微加工系統(tǒng)請瀏覽:
激光放大器參數(shù) 波長 1030nm
平均功率 6w
重復頻率 1-1000khz可調(diào)
脈寬 <280fs-10ps計算機控制
脈沖能量 1mj
輸出穩(wěn)定性 <1%
光束質(zhì)量m2 <2
脈沖選擇器
多種頻率選擇 sh, th,fh可選
激光振蕩器參數(shù) 功率 >1w
脈寬 <80fs
重復頻率 76mhz
飛秒激光微納加工系統(tǒng)特色
超高加工速度:高達350000像素/
飛秒微細加工模式下具有最小的熱影響區(qū)
工作面積高達:150x150mm
使用高性能振鏡控制精密激光光束
激光脈沖數(shù)可控(1-350khz)飛
飛秒激光微納加工系統(tǒng)應用
飛秒激光鉆孔,飛秒激光切割,飛秒激光打孔;
飛秒激光燒蝕,飛秒激光蝕刻,飛秒激光雕刻;
2.5d銑,自定義模型劃線,
表面微納結構價格
改變材料的折射率,飛秒激光材料改性
飛秒激光三維多光子聚合;
光學微操作……
飛秒激光微納加工系統(tǒng)應用
mems制造掩膜制造和修理微片修復
燃料電池材料制造libwe,醫(yī)療應用激
光誘導擴散微光學
光子晶體
衍射光學元件制造
波導和微透鏡的制備