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氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理檢漏儀內(nèi)部泄漏
處理方法
不同的密封部位出現(xiàn)泄漏采用不同的處理方法(見(jiàn)表1)。①檢漏接口與閥門(mén)組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，氦質(zhì)譜檢漏儀那種好，需從廠家購(gòu)買(mǎi)新品進(jìn)行更換。②電磁閥與閥門(mén)組塊間的密封圈有漏，則對(duì)密封圈進(jìn)行更換，并先用無(wú)水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會(huì)影響儀器本底)等密封添加劑。③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項(xiàng)同上。④真空計(jì)的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環(huán)節(jié)在檢測(cè)時(shí)*易被忽視，此處若有漏可*行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，河源氦質(zhì)譜檢漏儀，則從廠家購(gòu)買(mǎi)新品進(jìn)行更換。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：
（1）氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量少（在空氣中約含5×10-6），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。
（2）氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過(guò)漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。
（3）氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備，不會(huì)污染被檢件，使用安全。
（4）在氦兩側(cè)的離子是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開(kāi)，調(diào)氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電*及離子源加速*的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過(guò)，提高了儀器靈敏度。
（5）氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附，容易被抽走。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好，提高了儀器的檢漏效率。
氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底*高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。
尼爾博士將設(shè)計(jì)圖紙全部交給了通用電氣公司并簽訂了合同，不久后，橡樹(shù)嶺擴(kuò)散工廠所用的氦質(zhì)譜檢漏儀便全是由美國(guó)通用電氣公司生產(chǎn)的，在生產(chǎn)過(guò)程中， 又作了不少的改進(jìn)。擴(kuò)散泵前增加的冷阱便是為改進(jìn)氦質(zhì)譜檢漏儀所作的新貢獻(xiàn)。
1946年初，真空電子工程公司與電動(dòng)力學(xué)公司合并后也開(kāi)始生產(chǎn)銷售的氦質(zhì)譜檢漏儀。當(dāng)時(shí)， 通用電氣公司的氦質(zhì)譜檢漏儀已有若干個(gè)型號(hào)的產(chǎn)品。真空電子工程公司是由戰(zhàn)時(shí)的kellex公司的檢漏小組的幾位研究生創(chuàng)辦的，他們是銳伯，尼爾肯。60年代后， 通用電氣公司不再生產(chǎn)檢漏儀。幾經(jīng)合并后， 檢漏儀由ametek公司生產(chǎn)。真空電子工程公司生產(chǎn)的檢漏儀基本上籠斷了這個(gè)領(lǐng)域達(dá)40年之久。現(xiàn)在用戶已可以自由選擇國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同型號(hào)、規(guī)格的氦質(zhì)譜檢漏儀。
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