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制版廠-金華掩膜板

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光刻(英語:photolithography)是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個重要步驟,該步驟利用*和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu),然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。這里所說的襯底不僅包含硅晶圓,還可以是其他金屬層、介質(zhì)層,例如玻璃、sos中的藍寶石。
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光刻板本體的外部邊緣增設(shè)一保護環(huán),保護環(huán)具有多種開孔,以便在保護環(huán)處的硅片的邊緣處刻出晶粒,將光刻板本體處的硅片保護起來,硅片邊緣刻出晶粒后,邊緣的不合格情況通過目測可以清楚看出,能有效防止混料情況;利用本實用新型刻出的硅片,掩膜板,在高壓測試時,能防止漏電打火,安全性能具有較大提高
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通過金屬化過程,在硅襯底上布置一層僅數(shù)納米厚的金屬層。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠。這層光阻劑在*(一般是紫外線)后可以被特定溶液(顯影液)溶解。使特定的光波穿過光掩膜照射在光刻膠上,可以對光刻膠進行選擇性照射(*)。然后使用前面提到的顯影液,溶解掉被照射的區(qū)域,這樣,光掩模上的圖形就呈現(xiàn)在光刻膠上。通常還將通過烘干措施,改善剩余部分光刻膠的一些性質(zhì)。
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