全自動堿腐蝕機

適用于多種規(guī)格硅片的腐蝕清洗，
同一臺設(shè)備可編程多套運行軟件 根據(jù)工藝需求，
槽體可匹配超聲、抖動、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過濾等功能 全自動控制，
可選擇自動配補液，保證了操作的安全穩(wěn)定性
高速移載機械手，伺服驅(qū)動控制，保證運行平穩(wěn)，定位可靠 機械手直接夾取pfa卡塞，更好的滿足客戶需求
采用國際知名電氣元件