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真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝須知
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系統(tǒng)首要組成部組件有:真空泵、壓力傳感器、真空電離規(guī)、閥門、管路、氣瓶和控制器。試驗(yàn)腔的真空環(huán)境經(jīng)過渦輪分子泵完成,渦輪分子泵是靠高轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)子帶著氣體分子取得超高真空的一種機(jī)械真空泵。工作壓力范圍在1~10-8 pa。*的泵可以取得10-9 pa的*限壓力,注液真空系統(tǒng),分子泵首要用作超高真空泵和高真空泵,但渦輪分子泵不能直接對大氣排氣,需要裝備前級泵,而且其首要功能(*限壓力和抽速)都和裝備的前級泵的容量、轉(zhuǎn)速,被抽氣體的種類有關(guān)。為了節(jié)省空間資源和下降能耗,體系中可充分利用空間的真空環(huán)境,省去分子泵的前級泵。
單級旋片真空泵系統(tǒng)是理想的高真空獲得設(shè)備,用于抽除普通空氣或惰性氣體和少量可凝性蒸汽。真空系統(tǒng)是由真空泵、plc程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。
油式單級旋片真空泵工作原理:
轉(zhuǎn)子在圓形的缸體內(nèi)通過電機(jī)聯(lián)節(jié)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子軸線偏離缸體中心線,因此轉(zhuǎn)子與缸體內(nèi)壁形成線性接觸,鍍膜真空系統(tǒng),葉片沿著轉(zhuǎn)子的滑槽滑動(dòng),將缸體和轉(zhuǎn)子之間隔成多個(gè)工作腔,當(dāng)工作腔和進(jìn)氣口相連時(shí),吸入氣體,隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),被吸入的氣體被壓縮,進(jìn)而排除到油氣分離器內(nèi)。恒定的壓力差使真空泵潤滑油進(jìn)入壓縮腔。潤滑油和被抽氣體一起進(jìn)入油氣分離器,通過重力作用和油氣濾網(wǎng)及排氣過濾器網(wǎng)的作用下使得油、氣分離,潤滑油回落到油箱底部,再次循環(huán),不含油的氣體通過排氣口排向大氣。
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