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新型檢漏裝置的示蹤氣體必須滿足三個(gè)要求
（1）系統(tǒng)的殘余氣體的質(zhì)潛中沒有它的譜線。即便儀器處于大氣環(huán)境，這種氣體在儀器中也幾乎不存在。
（2）能夠在試驗(yàn)狀態(tài)下很容易地把它從系統(tǒng)中抽出， 所用的示蹤氣體不會污染系統(tǒng)。
（3）分子量低、粘度低、購置方便。顯然，氦氣是滿足這三個(gè)要求的理想的氣體。
橡樹嶺的擴(kuò)散工廠主要是由大型圓柱形容器構(gòu)成。容器與油罐車上的油罐的大小相當(dāng)。廠內(nèi)的大型容器數(shù)以百計(jì)，一個(gè)又一個(gè)的聯(lián)結(jié)在一起。其內(nèi)部有可以有效分離出鈾的含有微孔的長管。為了防止泄漏，必須對所有容器的器壁進(jìn)行嚴(yán)格而認(rèn)真的檢漏。
初用于橡樹嶺擴(kuò)散工廠的氦質(zhì)譜檢漏儀封裝在玻殼中。其零部件和管道也是玻璃制成的。抽氣裝置又用的是玻璃式擴(kuò)散泵。當(dāng)這些由玻璃封裝的檢漏儀進(jìn)入現(xiàn)場后損壞很大。玻璃系統(tǒng)經(jīng)常*碎，不得不請?jiān)S多玻璃工進(jìn)行維修。在當(dāng)時(shí)， 熟練的玻璃工實(shí)在太少了。后來參加調(diào)試的人員出通諜：如果檢漏儀不能作成實(shí)用型，他們將拒絕使用。尼爾博士在十分困難的情況下，終于研制成功了金屬的質(zhì)譜計(jì)和金屬式的真空系統(tǒng)。這也是現(xiàn)代氦質(zhì)譜檢漏儀的雛形。金屬式氦質(zhì)譜檢漏儀的研制成功終于適應(yīng)了擴(kuò)散工廠對檢漏的嚴(yán)格的要求。檢漏儀的研制成功為后來的研制成功作出了歷史性的貢獻(xiàn)。
氦質(zhì)譜檢漏儀以及氦質(zhì)譜檢漏，在實(shí)際應(yīng)用中，氦質(zhì)譜檢漏顧名思義一般都會采用氦氣作為的示漏氣體，鋰電氦檢專機(jī)維修，這是為什么呢？
氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名，但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點(diǎn)：
1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。
2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個(gè)縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時(shí)本底信號小。
以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，*，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。
氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題：
（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸法檢漏；有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時(shí)應(yīng)選擇有多工位的檢漏儀。
（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。
（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。
（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。
（5）如果被檢對象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。
（6）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。
（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。
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