NE-PE80F納恩科技80L真空等離子清洗活化機(jī)

設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) 1) 外形尺寸（約）:l1200×w1100×h1850（mm） 外觀噴塑處理
2) 反應(yīng)倉(cāng)尺寸：不銹鋼 w450mm×h400mm×d470mm
3)電源：主系統(tǒng)電源:380×(1±10%)v(ac) 50hz～60hz 三相五線
4）等離子體頻率：13.56mhz
5）射頻電源功率：（0～600）w可調(diào)
6）設(shè)備功率：≤4kw
7)控制方式：采用包括觸摸屏人機(jī)界面的 plc控制，操作方式包括自動(dòng)模式和手動(dòng)模式。在自動(dòng)模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理， 可同時(shí)存儲(chǔ) 100組不同的配方。使用時(shí)只需要將相應(yīng)配方號(hào)調(diào)出即可。設(shè)備參數(shù)分級(jí)管理，設(shè)備操作員、工藝人員、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù)，提高設(shè)備安全性。手動(dòng)模式用于實(shí)驗(yàn)工藝以及設(shè)備維護(hù)維修。
8)mfc質(zhì)量流量控制
氣體流量：(0～200)ml/min（標(biāo)況下）
9)工作氣體(氧、氬等)接口壓力：≤0.45mpa
10）壓縮空氣（啟動(dòng)氣動(dòng)角閥）接口壓力：0.5mpa
11）凈化冷卻氣體（氮?dú)猓┙涌趬毫Γ?.45mpa
12）設(shè)備工作節(jié)拍：?jiǎn)未吻逑磿r(shí)間≤8min（清洗時(shí)間 6min，具體以實(shí)際清洗時(shí)間為準(zhǔn)）
13）工作真空度：30～150pa
14）反應(yīng)倉(cāng)工作溫度：30~60℃
15)極板數(shù)量：水平電極板≥8 層，極板間任意組合